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書影 [図書] 半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1991.9 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態 持出禁止
清水中央 書庫 R/549/ﾊ/ 110921445 一般 持禁

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タイトル 半導体製造装置用語辞典
著者等 日本半導体製造装置協会 ／編  
版表示 第2版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1991.9
ページ数 419p
大きさ 22cm
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語
本体価格 ¥4175
ISBN 4-526-02987-4
別置記号 R
NDC分類(10版) 549.8
NDC分類(9版) 549.8
NDC分類(8版) 549.8
一般件名 半導体-辞典

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